EpiWafer“一跃”带入TOPCon、HJT最佳材料！

由于研发意义链之中须要投入生产成铟即成，也须要便将铟即成石墨后拉晶，更须要直至的活体、削边，既所需了新能源，又增大了残余物，还一般化时了生产工艺，这个意义链发生了根本性的波动，与传统观念的带电粒子元件研发生产工艺远比，投入生产效益毫无疑问亦会明显降偏高。

这就是EpiWafer，一种别成心裁的生产工艺剪辑的不算阳能蓄电池。

左图2：密切相关带电粒子元件(从右)与可省去的嫩枝带电粒子元件(左)受控。

3. 可行性如何?

期望可以新奇，但终究要用实践来鉴定。Fraunhofer ISE的新媒体，并不需要投入生产成不算阳能不算阳能蓄电池吗?

不用担心，只不过Epiwafer关键技术并非Fraunhofer ISE的发明，在带电粒子工业之中，Epiwafer生产工艺已经是研发带电粒子元件的茁壮分析方法。

Epiwafer译成日文就是“碳密切相关片”。自之中后期50年代末，碳密切相关片日后成功地应用以研发很高频大功率真空管，为了满足各种晶圆的所需，相应地也导致了各样的碳密切相关关键技术。从器件研发的相指为可总称仍要密切相关和指为密切相关，从药理学组成可总称同质密切相关和共价密切相关。

氢化时碳密切相关片的分析方法有气相密切相关、气相密切相关、原子束密切相关等。其之中以药理学气相淀积(CVD)福础上的气相密切相关是现在投入生产碳密切相关片的主流分析方法，常用的气源有SiCl4 、SiHCl3、SiH2Cl2和SiH44种，现今以SiCl4源应用最最常。

在EpiWafer关键技术之中，研发不算阳能蓄电池可以通过将氯碳烷氮气密切相关沉积层为厚的晶体碳层，然后在植被后将其受控，以投入生产常规总重量的独立积体电路，不管是 n DF或 p DF比如说碳薄膜积体电路都能投入生产。

这么好的关键技术，怎么还不会用在不算阳不算阳能蓄电池呢?很有趣，灵活性和效益。既然EpiWafer是长期以来用以晶圆带电粒子从业人员，此番也告诉晶圆带电粒子从业人员的效益是不算阳能的多少倍。

2012年全球性第二大晶圆不算阳能蓄电池厂东洋SUMCO公司就因为效益不算很高关闭了其12吋主流碳密切相关片的投入生产。SUMCO也有不算阳能不算阳能蓄电池，但也因效益不算很高而退成。尽管SUMCO驾驭碳密切相关片的投入生产关键技术，但并未用以不算阳能不算阳能蓄电池的投入生产。

从关键技术上说，不算阳能从业人员用的不算阳能蓄电池还所需应付一个用电的情况，和带电粒子从业人员还是有区别的，而且不算阳能从业人员所需用的不算阳能蓄电池数量，是晶圆从业人员的几个千分之倍数，如何原型车也是一个情况。

这就是Fraunhofer ISE要应付的情况。

4. 从研究小组到原型车

2015年，Fraunhofer ISE 报告其 EpiWafers 的开发新拿下了重大突破的发展，通过吸杂以充分利用密切相关植被积体电路，扫除长晶缺陷并扫除缺陷的是从，研发成新DF n 比如说密切相关积体电路。分析表明，该不算阳能蓄电池高达少数能带间隔时间很高于1000 µs，表明与 n DF Cz 积体电路的千分之并不相同。在这些EpiWafers上处理的锂离子导致了20%的光电便生灵活性，锂离子的短路电容器为 39.6 mA/cm 2，这一拢果被Fraunhofer ISE 的CalLab研究小组独立推测。

2015年，Fraunhofer ISE宣告成立初创公司NexWafe GmbH，从FraunHofer ISE移去，致力于将用EpiWafer生产工艺研发不算阳能不算阳能蓄电池厂家的关键技术推向厂家并较慢一些公司。

推向厂家，意味着要开始用试验线之中试并原型车;一些公司代表着要让卖家鉴定并获取资本厂家的护持。2017年2翌年，NexWafe成功完成了 1000万德国马克(合为1100万美元)的首轮风险投资者。

EpiWafer被看成传统观念 Cz直拉法带电粒子元件的并不所需替代物。Fraunhofer ISE 的研究团队与 NexWafe 共同开发优化了EpiWafer的所有投入生产方式之中，成功证明了EpiWafer的较慢的发展，创造了密切相关植被碳锂离子的世上灵活性纪录。在NexWafe或许，一项忽略游戏规则的关键技术仍要在诞生，它将通过以极具竞争力的价钱给予除此以外的；也薄膜密切相关积体电路，加速了厂家向很高效缓冲器的变革。

原型车用意还所需充分利用降本。从氯碳烷之中并不所需沉积层晶体碳层对于风电来说是一种有吸引力的选择，可以所需大量的微电脑碳材即成和新能源。因此，福于 CVD 生产工艺和系统设计的长期成果，Fraunhofer ISE 开发新并协作了“ProConCVD”系统设计，用以在室温下展开很高通量硬质，在层千分之、层光滑性和系统设计仍要常终到全面性优化碳福硬质生产工艺，并检查它们在风电之中的易用性。

左图：ProConCVD 系统设计用以在室温下以连续生产工艺沉积层无突起碳福层

在HighVolEpi概念设计之中，NexWafe通过最常的演示和设计优化采取措施对这两项生产工艺展开了优化，主要是在偏高金属污染和较厚光滑性全面性。优化采取措施将拆分指为复从研究小组规模转移到Skype系统设计，并投入生产成占地面积为 156 x 156 mm 2的密切相关片(“EpiWafer”)。

该指为复重新组织了多孔层堆叠，创建人了一个受控层，准许将 EpiWafer 从福板上提出诉讼。除此之外，在氧化时物较厚上沉积层总重量为几微米的铟的生产工艺在层厚光滑性全面性获取了优化。

5. 最新的发展

由于须要研磨，EpiWafer在减薄、增大硫化时物、增大缺陷等全面性拿下了杰出的效用。现今EpiWafer并不需要充分利用120-140um的不算阳能蓄电池总重量，常规nDF蓄电池灵活性达到23-24%，2022年将原型车M6尺寸不算阳能蓄电池。

NexWafe 已成功展示了打破世上纪录的受控 50 微米带电粒子元件的潜能 - 有约是人类所长发的直径，总重量不到传统观念生产工艺的三分之一，并原计划到2024年开始大批量投入生产总重量小于 90 微米的超薄带电粒子元件。而超薄的不算阳能蓄电池让它们的电压比传统观念的 Czochralski (Cz) 生产工艺不算阳能蓄电池更佳，因而蓄电池灵活性也更佳。

左图3：EpiWafer 60um超薄不算阳能蓄电池

面对大尺寸的潮流，NexWafe仍要在努力工作开发新210mm不算阳能蓄电池，原计划在2023年前利用 NexWafe 密切相关生产工艺在 2x2 嫩枝带电粒子元件上充分利用光滑沉积层，研发厂Epinex G12。

NexWafe 的投入制成品为保护环境未来做准备，可增大 70% 的二氧化时碳排放。这意味着每年每投入生产 10GW 的不算阳能蓄电池可以所需有约 600 万吨的二氧化时碳。

6. 前途无量

提很高灵活性，增大新能源和资源能量消耗是在世界上风电发展的主要驱动力。密切相关植被不算阳能蓄电池“EpiWafer密切相关片”，通过移去在都是由上密切相关植被的碳层拆分多孔碳模板，指为复之中仅多余5%的碳，而传统观念多晶不算阳能蓄电池积体电路要多余45%左从右的碳材即成。EpiWafer生产工艺为增大碳和新能源能量消耗给予了风险，在保持很高灵活性的同时降偏高投入生产效益。

Fraunhofer ISE和NexWafe不断优化生产工艺，将不算阳能级EpiWafer成现实，并且开发新成了很高日均的带电粒子元件，充分利用了将一项晶圆产业的关键技术转移到风电产业的偏高效益投入生产。NexWafe认为，不久的有朝一日，Epiwafer密切相关积体电路日后将成常规薄膜不算阳能蓄电池的一种政治经济很高效的替代物。

由于不长期存在研磨生产工艺日后可投入生产成可任意总重量的不算阳能蓄电池，对于不断减薄的不算阳能蓄电池来说，研磨缺陷就暂时长期存在，对于提升蓄电池的灵活性也是重大的推动。NexWafe预期用于单片纯碳蓄电池生产工艺，上半年充分利用26%的光电灵活性。而其nDF特性维护了它可替代自已的不算阳能蓄电池意味着很高效 HJT、Topcon 和 IBC蓄电池，未来还可与砷化时镓、钙钛矿等一起剪辑叠层蓄电池。

原末尾：TOPCon、HJT最佳材即成，EpiWafer是个什么“GUI”？

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